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洁净棚中的气压规定

    对于大部分的洁净棚来说,为了保持内部空间的洁净度,需要将内部的静态压力保持在高于外部静态压力的情况下。这种压力差一般要符合一下原则:
    1.洁净棚内的压力要恒定高于非洁净区域空间的压力。
    洁净棚内的水份控制
    2.同一个洁净棚内的区域,洁净度高的区域压力要恒定高于洁净度低的区域。
    3.两个相通的洁净棚之间,开门方向要朝向洁净度更高的区域。
    保持洁净棚中压力差的主要源头是送风量,且在考虑送风量的时候还要考虑到在压力差的情况下会从缝隙泄漏的空气。
    另外,送风量带来的压力主要给予了洁净棚压力数量的差别,要在一定时间内造成一定的压力差,还需要一定的气流速度来作为辅助手段,也就是所谓的风速控制。

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